直线电机平台的安装与测量
直线电机精度测量注意要点
直线电机精度测量需要注意的几点简述。
注：所有测量条件要求安装基座平面度小于10微米
1 直线电机精度测量使用激光干涉仪与大理石平台
2 重复定位精度定义
确定原点后，正反方向往返7次，测量得到的与原点的******偏差的±1/2 做为直线电机的重复定位精度。
标准型号直线电机重复定位精度为±1微米
高精度直线电机重复定位精度±0.5微米
3 绝对定位精度
绝对定位精度是直线电机全行程的设定目标与实际测量之间的******偏差
随着控制系统的不断进步，定位精度可用多点补偿方式缩小偏差。
4 单轴直线电机测量指标
绝对精度：位置的定位位置差距；水平真值度：电机左右偏差；垂直真直度：电机上下偏差；
Pitching：电机移动时前后方向的角度； Yawing:电机移动时左右方向角度；
Rolling：电机移动时角度回转。
5 测量方法
6 直线电机平台的精度
垂直度
直线度
测量方法如下：如果直线电机平台安装基座平面度不好的话，测量得到的直线度数据会比较差。会引起ABBE误差（由于安装底座平面度不好引起的绝对精度不好）。
安装机械平面度
X-Y-theta平台安装机械平面度
运行平面度
X-Y-THETA平台运行平面度
