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直线电机平台的安装与测量

直线电机精度测量注意要点

直线电机精度测量需要注意的几点简述。
   注:所有测量条件要求安装基座平面度小于10微米
   1 直线电机精度测量使用激光干涉仪与大理石平台
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2 重复定位精度定义
确定原点后,正反方向往返7次,测量得到的与原点的******偏差的±1/2 做为直线电机的重复定位精度。
标准型号直线电机重复定位精度为±1微米
高精度直线电机重复定位精度±0.5微米
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3 绝对定位精度
绝对定位精度是直线电机全行程的设定目标与实际测量之间的******偏差

随着控制系统的不断进步,定位精度可用多点补偿方式缩小偏差。
  
  
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4 单轴直线电机测量指标
 
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绝对精度:位置的定位位置差距;水平真值度:电机左右偏差;垂直真直度:电机上下偏差;
Pitching:电机移动时前后方向的角度; Yawing:电机移动时左右方向角度;
Rolling:电机移动时角度回转。
5 测量方法
 
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6 直线电机平台的精度
垂直度
 
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直线度
测量方法如下:如果直线电机平台安装基座平面度不好的话,测量得到的直线度数据会比较差。会引起ABBE误差(由于安装底座平面度不好引起的绝对精度不好)。
 
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安装机械平面度
X-Y-theta平台安装机械平面度
 
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运行平面度
X-Y-THETA平台运行平面度
 
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